激光三角漫反射偏移传感器用作测量薄有显著优点:--十分小的测量光斑,是点光面积,如真另有公司ZLDS10X系列光斑面积大约1mm,它比面积型非认识电容、电涡流传感器,对被测体面积完全无拒绝,合适测量十分小面积尺寸厚度;--很远的测量范围接续间距。它比非认识电容、电涡流传感器接续间距大很多,如真另有公司ZLDS100激光偏移传感器测量量程100mm,测量间距可以超过1000mm。这样传感器可以靠近被测体,免遭碰坏,及被测体热辐射影响;--有相当大的测量范围,如真另有公司ZLDS101激光偏移传感器量程约2000mm,这是其它传感器很难做的;--与被测体材料牵涉到,即金属非金属体,非半透明有漫反射条件表面都能测。和其它传感器测量薄一样,要构建仪器测量薄必须留意以下条件,否则再行好的传感器也测量不许:1、用单激光偏移传感器测量薄 被测体放到测量平台上,测量出有传感器到平台表面距离,然后再行测得传感器到被测体表面间距,经计算出来后测得厚度。
拒绝被测体与测量平台之间无气隙,被测体无下垂。这些严格要求只有在离线情况构建。2、双激光传感器测量薄 在被测体上方和下方各加装一个激光偏移传感器,被测体厚度D=C-(A+B)。
其中,C是两个传感器之间距离,A是上面传感器到被测体之间距离,B是下面传感器到被测体之间距离。图中:SMR是指传感器量程接续间距,MR是指传感器量程。 在线厚度测量用这种方法优点是可消除被测体振动对测量结果的影响。
但同时对传感器加装和性能有拒绝。确保测量准确性的条件是:两个传感器升空光束必需同轴,以及两个传感器扫瞄必需实时(闻本文附图)。同轴是靠加装构建,而实时要靠自由选择有实时末端激光传感器。
如真另有ZLDS10X系列激光偏移传感器都有实时末端。
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